Pompe à vide

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Une pompe à vide est un type de pompe permettant de faire le vide, c'est-à-dire d'extraire l'air ou tout autre gaz contenu dans une enceinte close, afin d'en diminuer la pression^[1].

Sommaire

Quels gaz

Les gaz à évacuer sont d'une part ceux présents au début de la mise sous vide (généralement à la pression atmosphérique) et d'autre part ceux émanant de phénomènes tels que le dégazage naturel des parois sous vide (voire de zones qui sont chauffées), des fuites éventuelles (réelles ou virtuelles), de la perméabilité des joints ou des parois, voire d'introduction volontaire de gaz (procédés de fabrication ou de traitement, dans le domaine des semi-conducteurs par exemple), de l'évaporation de graisse.

Type de pompes

Il existe différents systèmes de pompes à vide, dont le choix dépend entre autres de la qualité du vide désirée. Les technologies les plus courantes sont :

Pour avoir un vide primaire :
- éjecteurs à vide utilisant la vapeur ou un gaz comprimé
- trompe à eau (10³ Pa)
- pompe à membrane (10² Pa)
- pompe à palettes (lubrifiées ou sèches) (10^-2 Pa)
- pompe à piston
- pompe à mercure (1 mPa)
- pompe à anneau liquide
- pompe Roots
- pompe sèche (sans lubrifiant)

Pour avoir un vide secondaire :
- pompes turbomoléculaires, moléculaires et hybrides, elles peuvent être conventionnelles sur roulements à billes ou sans contact grâce à l'utilisation de la sustentation magnétique,
- pompe à diffusion

pour avoir un ultravide :
- pompe ionique
- pompe à sublimation
  - pompe à sublimation de titane (en)
- pompe cryostatique
- compresseur (pompe primaire pouvant être reliée à des pompes sèches et volumétriques).
- pompe cryogénique (en).

Utilisations

conditionnement sous vide
Dégazage sous vide
Revêtement sous vide
Pressage, façonnage et laminage sous vide
Levage/manutention sous vide
Assistance au freinage dans l'automobile (montée en bout d'arbre à cames sur les véhicules Diesel principalement)